四两拨千斤 助力“中国芯” 兴发集团技术创新支撑高质量发展

兴发集团历时10年研发成功、用于芯片制造的“超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得2019年国家科技进步二等奖；这是该集团依靠技术创新支撑高质量发展的结晶。日前，兴发集团拿出500万元奖励项目技术攻关团队。与此同时，获得行业一等奖的“高性能聚硅氧烷合成与氯硅烷综合利用关键技术及产业化”等12个项目的研究人员获得了350万元奖励。

“‘超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液’项目共获得授权专利30件，其中发明专利11件。集团技术研发中心还参与制定了《电子级磷酸国家标准》。这些成果的取得，得益于集团领导看得远、敢投入、有气魄。”兴发集团副总经理、教授级高工李少平感慨。

近些年来，兴发在“引进消化再创新”的基础上，大力推进“跨产业集成创新”，加速关联产业技术融合对接，尝到了甜头。集团先后建成了国家级企业技术中心、国家博士后科研工作站、国家认可实验室等高层次创新平台，打造了1154人的专业技术团队，取得授权专利424项，主导和参与制定国家和行业标准60项、国际标准1项。

兴发依靠技术创新催生了多项全国第一、全球领先项目。能源开发利用技术覆盖多个领域，矿山开发利用技术形成完备体系，化工产品制造技术涉及众多门类；草甘膦绿色高效合成工艺、黑磷研发水平国内领先，“四废”综合利用技术行业领先；高端磷酸盐制备工艺、黄磷清洁生产工艺国际领先，电子化学品打破国外技术封锁。

按照“产业关联化、工艺循环化、装备大型化、控制自动化”方向，兴发基本建成宜昌新材料产业园和宜都绿色生态产业园两个战略基地，规划布局内蒙古兴发、襄阳兴发等后备产业基地，产品由低端向中高端跨越，单一黄磷向工业级、食品级、医药级、电子级跨越，开发产品14个系列195种，形成了高低搭配、优势互补的产品链条。

近几年来，兴发瞄准我国芯片产业进行技术研发，经过坚持不懈的攻关，发明了工业黄磷纯化新技术，率先制备出满足超高纯电子级磷酸要求的高纯黄磷；开发了阻隔防腐蚀技术与专用设备，首次实现超高纯电子级磷酸的国产化；创新了蚀刻速率调控技术，实现了高选择性磷酸系蚀刻液的开发应用，填补了国内空白，其它功能性电子化学品也获得突破。产品销往韩国、新加坡等国内外知名半导体企业。

7月9日，在位于猇亭兴发新材料产业园的研发中心工地见到，7栋研发大楼拔地而起，有的已封顶、有的已开始装修。整个中心面对湖泊，背靠青山，环境优雅。该中心,占地58亩，建筑面积5万多平方米，建设标准瞄准行业前沿。